При отбраковке кристаллов на уровне пластин, одним из важных критериев отбора является параметрический контроль – измерение ВАХ с паразитными токами утечки между зондовыми иголками не более < 0.1 pA/V (Low Leakage) и даже < 1fA /V (Ultra Low Leakage).

Для параметрического контроля обычно используются тестеры типа Keithley серии S400/S600 или Keysight серии 4080 вкупе с автоматическими зондовыми станциями типа Accretech или TEL. Конечно, в таком случае должна быть стыковка hard docking и специализированная проб-карта с «жуком». Именно такая проб-карта производства компании Celadon и была поставлена одному из наших Заказчиков в г. Зеленоград.

Решение состоит из:

• Двухуровневой керамической материнской печатной платы с возможностью ручной замены «жуков» под тестеры Keithley S600. Она позволяет работать в температурном диапазоне ‐65°C…200°C и с токами утечки канал-канал <1fA/V @ 1 Sec;
• «Жука», разработанного и произведенного специально под топологию кристалла Заказчика: 32 контактные площадки с габаритами 80х80 мкм;
• Специализированный инструмент для ручного снятия и установки «жука» в материнскую проб-карту;

Проб-карта была проверена стандартной диагностикой на входном контроле у Заказчика: проверка контактирования пинов измерительной головы к площадкам на проб-карте и проверка утечек между пинами – всё прошло успешно. Решение введено в эксплуатацию и беспрерывно работает на территории завода Заказчика.