Зондовые станции

Зондовые станции – это крайне важное оборудования в области микроэлектроники. Вместе с измерительными комплексами, оно предназначено для межоперационного контроля, проведении измерений в статике и динамике, параметрических измерений и функционального контроля.

На зондовых станциях можно проводить входной контроль пластин и образцов, измерять отдельные кристаллы или сразу группы (с помощью проб-карт). Различные манипуляторы позволяют обеспечивать как DC, так и RF-измерения. Отдельная ниша этих станций — это измерения силовых полупроводниковых приборов.

ООО «ЗЕЛТЕСТ» является официальным дилером компании MPI Corporation – признанного мирового лидера в области зондовых измерений. Ими выпускаются ручные, полуавтоматические и автоматические зондовые станции для решения всех возможных задач: от измерений малых токов в диапазонах 10 фА до измерений в импульсе на 500А, от простых ВАХ и ВФХ характеристик и до СВЧ измерений в диапазонах до 220 ГГц.

За свою карьеру, специалисты компании ЗЕЛТЕСТ успешно реализовали десятки различных проектов по поставке комплексов зондового контроля на крупнейшие предприятия и институты нашей отрасли. Свяжитесь с нами – и мы обязательно расскажем о нашем опыте и подберем оптимальное решение именно для Вас!

Ручные зондовые станции серии MPI TS предназначены для DC/CVизмерений, измерений ВЧ сигналов, а также высокомощных измерений (highpower).

  • Диаметр столика: от 50 до 200 мм;
  • До 10 DCи 4 RF– позиционеров. Возможность установки проб-карт;
  • Опционально антивибрационная платформа и светоизоляционный корпус;
  • Оптика: обычные, цифровые, стерео и монокулярные микроскопы;
  • Большое количество мелких преимуществ, значительно упрощающих работу оператора;

Полуавтоматические зондовые станции серии MPI TS2000 предназначены для измерений на пластине в автоматическом режиме с помощью ПО SENTIO™: DC/CV/RF/Highpower – измерения.

  • Диаметр столика: 200 мм;
  • До 8 DCи 4 RF-позиционеров. Проб-карты и многоконтактные головки для пробников;
  • Виброизоляция, защита от ЭМП и света;
  • Диапазон температур: от -60°C до +300°C;
  • Специализированное программное обеспечение SENTIO™;

Автоматические зондовые станции серии MPI TS3000 предназначены для измерений на пластинах в полностью автоматическом режиме с загрузкой/выгрузкой из кассет и боксов. Интеграция с ATE системами типа Advantest, Teradyne, MST14, FORM, FT.

  • Диаметр столика: до 300 мм;
  • Работа с проб-картами под все типы измерений: параметрические (ВАХ, ВФХ), DC, СВЧ, Load-Pull.
  • Подача/выгрузка 5 пластин в автоматическом режиме. Виброизоляция, защита от ЭМП и света;
  • Диапазон температур: от -60°C до +300°C;
  • Специализированное программное обеспечение SENTIO™;

Микропозиционеры серии MP предназначены для контактирования к контактным площадкам измеряемого образца в составе ручных и полуавтоматических зондовых станций.

  • Разрешение устройства: 2-5 мкм;
  • Крепление: магнитное/на винтах;
  • Длина хода: 10-25 мм;
  • Применение: IV/CV коаксиальные, низкосигнальные, триаксиальные и точные и устойчивые RF измерения;
  • Серии микропозицонеров: 25-40-50-60-80;

Зондовые головки серии TITAN™предназначены для установки на микропозиционеры серии МР и позволяют проводить контакт к СВЧ контактным площадкам измеряемого образца.

  • Конфигурации: GS, SG, GSG, GSSG, GSGSG с шагом от 50 до 1250 мкм;
  • Рабочая частота: от 26 до 110 ГГц;
  • Согласованные 50-Ом контактные наконечники;
  • Угол выхода коннектора: 45 и 90 градусов;
  • Срок службы, касаний: не менее 1 000 000;

Пробкарты Celadon предназначены для контактирования к группам контактных площадок на проверяемых кристаллах. Работают в составе полуавтоматических и автоматических зондовых станций.

  • Конфигурации: до 12” (дюймов) = 300 мм;
  • Подходят для любых интеграций: зондовые станции – MPICorporation, TEL, Accretech, АТЕ системы – Advantest, Teradyne, MST14, FORM, FT;
  • Технологии производства: standard, cantilever, vertical;
  • Применение: параметрические измерения, DC, RF, высоковольтные испытания, в составе криогенных зондовых станций;
  • Под любую топологию кристалла;

ООО «ЗЕЛТЕСТ». Все права защищены.                                                    Тел: +7 (962) 981 45 78

E-mailinfo@zeltest.ru                                                                                            Москва, г. Зеленоград