Зеленоград – сердце российской микроэлектроники, отечественная кремниевая долина! Именно тут расположено большинство заводов по выпуску интегральных микросхем и дизайн-центров для их проектирования.

В последнее время много внимания уделяется силовой электронике: MOSFET транзисторам, биполярным транзисторам с изолированным затвором, силовым ключам, различным IGBT модулям, быстровосстанавливающимся диодам (FRD) и т.д. И это понятно, ведь их сфера применения поистине необъятна, а рынок сбыта огромен.

А для того, чтобы добавить к этому и экономическую эффективность, крайне важно проводить квалификацию и отбраковку кристаллов еще на этапе пластины, до резки и корпусировки – ведь какой смысл в собранном, но не работающем девайсе?

Именно для этих целей нами был проработан проект по электрическому тестированию силовых транзисторов на пластинах диаметром до 200мм. Результатом стала поставка автоматической зондовой станции MPI TS2500DP. В её состав входят:

• База самой станции с антивибрационным основанием, защитой от ЭМИ и света, XYZ перемещением держателя пластин с точностью ±4 мкм и углом поворота по тета ±5°;
• Автоматическая загрузка и выгрузка из двух кассет типа SEMI;
• 12 универсальных манипуляторов МР40, несколько пробников до 40А, возможность установки проб-карт 4,5”;
• Специализированный столик для измерения устройств высокой мощности до 10кВ/600А;
• Цифровая камера 3,2МП, ПО Sentio для работы зондовой станции;
• И «вишенка на торте» — возможность установки и интеграции с зондовой станцией ИК-камеры для измерения температуры кристаллов в реальном времени;

Система уже смонтирована и запущена у Заказчика. Следующим этапом планируется поставка комплекта контрольно-измерительных приборов для проведения силовых измерений на пластинах. А пока данная зондовая успешно работает с обычными кремниевыми пластинами, произведенными по базовой технологии.